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如何进行半导体器件C-V特性测量
来源:泰勤科技 | 作者:sztaiqin | 发布时间: 2021-03-18 | 2362 次浏览 | 分享到:
​吉时利2450型触摸屏数字源表是一款集I—V特性测试、曲线追踪仪和半导体分析仪功能于一体的低成本数字源表。吉时利2450丰富的功能也让它非常适合集成到自动测试系统中
电容-电压(C-V)测量广泛用于测量半导体参数，尤其是MOS CAP和MOSFET结构，C-V 测试可以方便的确定二氧化硅层厚度dox、衬底掺杂浓度N、氧化层中可动电荷面密度Q1、和固定电荷面密度Qfc等参数。
C-V测试方法

进行 C-V 测量时，通常在电容两端施加直流偏压，同时利用一个交流信号进行测量。一般这类测量中使用的交流信号频率在10KHz 到10MHz 之间。所加载的直流偏压用作直流电压扫描，扫描过程中测试待测器件待测器件的交流电压和电流，从而计算出不同电压下的电容值。
C-V测试系统

LCR表与待测件连接图
MOS电容的C-V测试系统主要由源表、LCR 表、探针台和上位机软件组成。LCR 表支持的测量频率范围在 0.1Hz~30MHz。源表(SMU) 负责提供可调直流电压偏置，通过偏置夹具盒CT8001 加载在待测件上。以PCA1000LCR表和吉时利2450源表组成的C-V 测试系统为例，可以满足精确测量的要求：

指标

参数

AC信号频率范围

10Hz - 1 MHz（CT8001）

AC信号测试范围

10mV - 2Vrms (1mVrms 分辨率 )

DC 信号测试范围

0.01- 2V

输出阻抗

100Ω

频率输出精度

±0.01%，5 位

基本测量精度

±0.08%

测量速度

8ms （最快）

直流电压偏置范围

-200V - 200V

直流偏压调节分辨率

最高 500nV

直流偏压设置精度

最高 200uV

CT8001 直流偏置夹具工作频率

100Hz - 1MHz