测试精度高：高达 100nV/10fA 分辨率，电流量测精度最高可达 0.1%+50pA，电压量测精度最高可 达 0.015%+300uV；提供正向/反向电流连续变化测试，提高测试精度。

  2）方形四探针法（如范德堡法）

  范德堡法适用于扁平，厚度均匀，任意形状且不含有任何隔离孔的样品材料测试。相比较直线型四探 针法，对样品形状没有要求。测试中，四个探针接触点必须位于样品的边缘位置，测试接线方式也是在其 中两个探针点提供恒定电流，另外两个点量测电压。围绕样品进行 8 次测量，对这些读数进行数学组合来 决定样品的平均电阻率。详细测试方法可参见 ASTM 标准 F76。

  总结：利用 IT2800 系列高精密源/测量单元可以精准实现半导体薄层电阻的电阻率测试，为半导体制 造工艺的改进提供数据依据。IT2800 SMU 因其高精度测量和丰富的探针台治具优势，为行业提供专业的 测试解决方案。